去離子水

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去離子水是指除去了呈離子形式雜質後的純水。國際標準化組織ISO/TC 147規定的「去離子」定義為：「去離子水完全或不完全地去除離子物質，主要指採用離子交換樹脂處理方法。」現在的工藝主要採用RO反滲透的方法製取。應用離子交換樹脂去除水中的陰離子和陽離子，但水中仍然存在可溶性的有機物，可以污染離子交換柱從而降低其功效，去離子水存放後也容易引起細菌的繁殖。

在半導體行業中，去離子水被稱為「超純水」或是「18兆歐水」。

從自來水到去離子水一般要經過幾步處理 ：

1、先通過石英砂過濾顆粒較粗的雜質

2、然後高壓通過反滲透膜

3、最後一般還要經過一步紫外殺菌以去除水中的微生物

4、假如此時電阻率還沒有達到要求的話，可以再進行一次離子交換過程最高電阻率可達到18兆。

相對而言，蒸餾水只是先氣化再冷凝，其純度如電導率一般不如純度高的去離子水，半導體工業中用的大多數是高純度的去離子水

去離子水工藝流程如下圖（點擊看大圖）：

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